В случае полупроводниковой литографии (также называемой фотолитографией) наши камни представляют собой кремниевые пластины, а наши узоры написаны с помощью светочувствительного полимера, называемого фоторезистом.
Что вы подразумеваете под фотолитографией?
Фотолитография, также называемая оптической литографией или УФ-литографией, представляет собой процесс, используемый в микрообработке для создания рисунка деталей на тонкой пленке или основной части подложки (также называемой пластиной).. … Этот метод может создавать очень маленькие узоры размером до нескольких десятков нанометров.
Почему литография используется в производстве полупроводников?
Фотолитография – это процесс, используемый в микрообработке для переноса геометрических узоров на пленку или подложку. Геометрические формы и узоры на полупроводнике составляют сложные структуры, которые позволяют примесям, электрическим свойствам и проводам замыкать цепь и выполнять технологическую цель.
Какова цель фотолитографии?
Фотолитография является одним из наиболее важных и простых методов микрообработки и используется для создания детальных узоров в материале. В этом методе форма или узор могут быть выгравированы посредством селективного воздействия ультрафиолетового света на светочувствительный полимер.
Что такое оборудование для полупроводниковой литографии?
Оборудование для полупроводниковой литографии используется на этапе экспонирования полупроводникового чипапроизводственный процесс. … Оборудование для полупроводниковой литографии использует проекционную линзу для уменьшения рисунка схемы, который написан на оригинальной пластине, называемой сеткой, и экспонирования рисунка на пластине.
