Фотолитография обычно используется для производства компьютерных чипов. При производстве компьютерных чипов материалом подложки является кремниевая пластина, покрытая резистом. Этот процесс позволяет одновременно создавать сотни микросхем на одной кремниевой пластине.
Как делается фотолитография?
Фотолитография использует три основных этапа процесса переноса рисунка с маски на пластину: покрытие, проявление, экспонирование. Рисунок переносится на поверхностный слой пластины в ходе последующего процесса. В некоторых случаях рисунок резиста также можно использовать для определения рисунка нанесенной тонкой пленки.
Что такое фотолитография и как она работает?
Фотолитография - это процесс формирования рисунка, в котором светочувствительный полимер выборочно подвергается воздействию света через маску, оставляя скрытое изображение в полимере, которое затем можно выборочно растворить для получения рисунка. доступ к нижележащему субстрату.
Что такое фотолитография и как она используется для изготовления транзисторов?
Он использует свет для переноса геометрического узора с фотошаблона (также называемого оптической маской) на фоточувствительный (то есть светочувствительный) химический фоторезист на подложке. … Он обеспечивает точный контроль формы и размера создаваемых объектов и может экономично создавать узоры по всей поверхности.
Почему это называется фотолитографией?
Полупроводниковая литография(Фотолитография) - Основной процесс . Изготовление интегральной схемы (ИС) требует множества физических и химических процессов, выполняемых на полупроводниковой (например, кремниевой) подложке. … Слово литография происходит от греческого lithos, означающего камни, и graphia, означающего писать.
