Фотолитография обычно используется для производства компьютерных чипов. При производстве компьютерных чипов материалом подложки является кремниевая пластина, покрытая резистом. Этот процесс позволяет одновременно создавать сотни микросхем на одной кремниевой пластине.
Как делается фотолитография?
Фотолитография использует три основных этапа процесса переноса рисунка с маски на пластину: покрытие, проявление, экспонирование. Рисунок переносится на поверхностный слой пластины в ходе последующего процесса. В некоторых случаях рисунок резиста также можно использовать для определения рисунка нанесенной тонкой пленки.
Почему это называется фотолитографией?
Полупроводниковая литография (Фотолитография) - Основной процесс . Изготовление интегральной схемы (ИС) требует множества физических и химических процессов, выполняемых на полупроводниковой (например, кремниевой) подложке. … Слово литография происходит от греческого lithos, означающего камни, и graphia, означающего писать.
Почему важна литография?
Литография - это процесс переноса рисунков геометрических фигур в маске на тонкий слой чувствительного к излучению материала (называемого резистом), покрывающего поверхность полупроводниковой пластины. На рис. 5.1 схематично показан процесс литографии, применяемый при изготовлении интегральных схем.
Какой метод наиболее широко используется в литографических методах?
Оптическийлитография - это основанный на фотонах метод, заключающийся в проецировании изображения на светочувствительную эмульсию (фоторезист), нанесенную на подложку, такую как кремниевая пластина. Это наиболее широко используемый процесс литографии в крупносерийном производстве наноэлектроники в полупроводниковой промышленности.
