Фотолитография использует три основных этапа для переноса рисунка с маски на пластину: покрытие, проявление, экспонирование. Рисунок переносится на поверхностный слой пластины в ходе последующего процесса. В некоторых случаях рисунок резиста также можно использовать для определения рисунка нанесенной тонкой пленки.
Что такое фотолитография Как это работает?
Фотолитография - это процесс формирования рисунка, в котором светочувствительный полимер выборочно подвергается воздействию света через маску, оставляя скрытое изображение в полимере, которое затем можно выборочно растворить для получения рисунка. доступ к нижележащему субстрату.
Почему используется фотолитография?
Фотолитография является одним из наиболее важных и простых методов микрообработки и используется для создания детальных узоров в материале. В этом методе форма или узор могут быть выгравированы посредством селективного воздействия ультрафиолетового света на светочувствительный полимер.
Почему ультрафиолетовое излучение используется в фотолитографии?
Фотолитография позволяет 3D инкапсулировать клетки в гидрогели путем сшивания преполимера, содержащего клетки, под действием УФ-излучения. Для получения желаемого рисунка используется фотошаблон [88].
Каковы требования к фотолитографии?
В целом, процесс фотолитографии требует трех основных материалов, источника света, фотошаблона и фоторезиста. Фоторезист, светочувствительный материал,имеет два типа: положительный и отрицательный. Позитивный фоторезист становится более растворимым после воздействия источника света.
Photolithography: Step by step
