Фотолитография – это процесс, используемый в микрообработке для переноса геометрических узоров на пленку или подложку. Геометрические формы и узоры на полупроводнике составляют сложные структуры, которые позволяют примесям, электрическим свойствам и проводам замыкать цепь и выполнять технологическую цель.
Что такое процесс фотолитографии?
Фотолитография, также называемая оптической литографией или УФ-литографией, представляет собой процесс, используемый в микрообработке для создания рисунка деталей на тонкой пленке или основной части подложки (также называемой пластиной). … В сложных интегральных схемах пластина CMOS может проходить фотолитографический цикл до 50 раз.
Что такое процесс микрофабрикации?
Микроизготовление – это процесс изготовления миниатюрных структур микрометрового масштаба и меньше. … Основными концепциями и принципами микрообработки являются микролитография, легирование, тонкие пленки, травление, склеивание и полировка.
Что такое процесс литографии в полупроводниках?
Система полупроводниковой литографии выполняет процесс, в ходе которого очень сложные узоры цепей, нарисованные на фотошаблоне, сделанном из большой стеклянной пластины, уменьшаются с помощью сверхвысокоэффективных линз и экспонируются на кремниевой подложке, известной какоблатка. …
Что такое литография в процессе производства?
Литографияпроцесс переноса узоров геометрических фигур в маске на тонкий слой чувствительного к излучению материала (называемого резистом), покрывающего поверхность полупроводниковой пластины. На рис. 5.1 схематично показан процесс литографии, применяемый при изготовлении интегральных схем.
