Из простой английской Википедии, бесплатной энциклопедии. Фотолитография - это сочетание фотографии и литографии. Его использование включает массовую печать фотографий.
Что вы подразумеваете под фотолитографией?
Фотолитография, также называемая оптической литографией или УФ-литографией, представляет собой процесс, используемый в микрообработке для создания рисунка деталей на тонкой пленке или основной части подложки (также называемой пластиной).. … Этот метод может создавать очень маленькие узоры размером до нескольких десятков нанометров.
Почему это называется фотолитографией?
Полупроводниковая литография (Фотолитография) - Основной процесс . Изготовление интегральной схемы (ИС) требует множества физических и химических процессов, выполняемых на полупроводниковой (например, кремниевой) подложке. … Слово литография происходит от греческого lithos, означающего камни, и graphia, означающего писать.
Какие бывают виды фотолитографии?
Обзор. Существуют различные типы литографических методов, в зависимости от излучения, используемого для экспонирования: оптическая литография (фотолитография), электронно-лучевая литография, рентгеновская литография и ионно-лучевая литография.
Что такое фотолитография в нанотехнологиях?
Фотолитография - это процесс определения рисунка на поверхности среза материала устройства. … Определение узора достигается вращением слоя фоторезиста(жидкость, чувствительная к ультрафиолетовому излучению) на кусочек материала устройства. Затем резист выборочно подвергается воздействию ультрафиолетового света через маску.
