При несбалансированном магнетронном распылении плазма также втягивается в подложку, и ионы аргона также бомбардируют растущую тонкую пленку. … Наличие электронов вокруг подложки приводит к ионизации нейтральных атомов газа и проникновению плазмы в эту область.
Почему магнетрон брызгает?
Магнетронное распыление использует замкнутое магнитное поле для улавливания электронов, повышая эффективность начального процесса ионизации и создавая плазму при более низких пленка и потери энергии в распыленном атоме из-за столкновений газов.
Что можно применить для магнетронного напыления?
5 Магнетронное напыление. Магнетронное напыление - это высокопроизводительный метод нанесения покрытия в вакууме, который позволяет наносить многие типы материалов, включая металлы и керамику, на множество типов материалов подложки с помощью специально сформированного магнитного поля. поле приложено к мишени для диодного распыления.
Что такое неуравновешенное магнетронное распыление в замкнутом поле?
Система ионного покрытия с несимметричным магнетронным распылением в замкнутом поле, разработанная Teer Coatings Ltd, обеспечивает оптимальные условия осаждения, позволяющие наносить плотные твердые покрытия с превосходной адгезией. Механизм CFUBMSIP защищен патентами, выданными Teer Coatings Ltd.
Что такое несбалансированный магнетрон?
Магнетроны обычно классифицируются как «сбалансированные» или «несбалансированные». … Если нулевая точка находится близко к поверхности мишени, электронам легче уйти, и магнетрон разбалансируется. Несбалансированные конструкции могут производить сильную ионную бомбардировку тонкой пленки одновременно с осаждением.
