Внутреннее геттерирование относится к геттерированию, которое включает в себя места захвата примесей, созданные осаждением пересыщенного кислорода из кремниевой пластины. Осаждение перенасыщенного кислорода создает кластеры, которые постоянно растут, создавая нагрузку на пластину.
Что такое получение кремния?
Геттеринг определяется как процесс, с помощью которого металлические примеси в области устройства уменьшаются путем их локализации в заранее определенных пассивных областях кремниевой пластины.
Что такое внешний геттер?
Внешняя геттеризация относится к геттеризации, в которой используются внешние средства для развития повреждения или напряжения в кремниевой сетке таким образом, что образуются расширенные дефекты, необходимые для улавливания примесей. Эти химически чувствительные места захвата обычно находятся на обратной стороне пластины.
В чем разница между внутренним и внешним получением?
Внешняя геттеризация: относится к геттеризации, в которой используются внешние средства для создания повреждений или напряжений в решетке кремния таким образом, что образуются расширенные дефекты, необходимые для улавливания примесей. … Внутренняя геттеризация: относится к геттеризации, в которой используется кислород, уже присутствующий в кристалле.
Что такое геттеринг, как он полезен в методе CZ?
Метод Чохральского, также метод Чохральского или процесс Чохральского, является методом выращивания кристаллов, используемым дляполучать монокристаллы полупроводников (например, кремния, германия и арсенида галлия), металлов (например, палладия, платины, серебра, золота), солей и синтетических драгоценных камней.
